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微機械陀螺儀?

         微機械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫,即微電子機械系統(tǒng)。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是建立在微米/納米技術(shù)(micro/nanotechnology)基礎(chǔ)上的 21世紀(jì)前沿技術(shù),是指對微米/納米材料進行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)。它可將機械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。這種微電子機械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令,還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動。它用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術(shù))相結(jié)合的制造工藝,制造出各種性能優(yōu)異、價格低廉、微型化的傳感器、執(zhí)行器、驅(qū)動器和微系統(tǒng)。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是近年來發(fā)展起來的一種新型多學(xué)科交叉的技術(shù),該技術(shù)將對未來人類生活產(chǎn)生**性的影響。它涉及機械、電子、化學(xué)、物理、光學(xué)、生物、材料等多學(xué)科。2。微機械陀螺儀(MEMS gyroscope)的工作原理 傳統(tǒng)的陀螺儀主要是利用角動量守恒原理,因此它主要是一個不停轉(zhuǎn)動的物體,它的轉(zhuǎn)軸指向不隨承載它的支架的旋轉(zhuǎn)而變化。
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