名          稱

參        數(shù)

工

作

臺

金屬臺面尺寸(MM)

450 ×320

方形玻璃臺面尺寸:(MM)

320X220

X坐標行程:(MM)

300

Y坐標行程：(MM)

200

儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) MM：

480Х 650 Х1000

儀器重量（KG）：

200

Z坐標升降行程:(MM)：170(調焦)   工作距離（MM）：95

X/Y/Z數(shù)顯分辨率：0.0005MM (0.5UM)   X、Y坐標示值誤差：≤（3+L/200）ΜM

影

像

系

統(tǒng)

攝影機：彩色1/3″CCD攝影機(日本索尼芯片540線高分辨率工業(yè)攝像機）

變焦物鏡倍率：0.7～4.5X（定格變倍，無需每次校準）

視頻總倍率：30X～230X

物方視場：7～1.1MM

傳動型式：X、Y、Z軸均采用馬達驅動滾珠絲桿傳動的型式

計算機自動采樣，端口輸出，專業(yè)軟件進行數(shù)據(jù)分析處理

X、Y軸馬達運動速度＜120MM/S   Z軸馬達運動速度＜60 MM/S

馬達運動步長0.4 MM/步         馬達分辨率1000步/轉

照  明

程控可調LED表面光和底光(使用全**電壓)

伺服電機

日本原裝進口

電  源

180V（AC）～260V（AC）50HZ

測量軟件

VMS測量軟件，可測線、角、圓，隨圓、圓心距、角度、高度、平面距、空間距、平整度、球，自動逆向掃描等，自動輸出WORD/EXEL/CAD！